유량계(Flow meter)

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카테고리 Purge Flow meter 퍼지미터 타입
제품이미지
제품명 FW 1720
제품종류 테프론플로미터 (PFA)
사양서 [FW1720.pdf]
제품설명 FW 17200 is the all PFA flow meter, wetting part and taper tube are composed of PFA. This flow meter is especially suited for all kinds of chemicals device due to superior chemical resistance and PFA welding.

All PFA 유량계로 접약부와 taper tube가 PFA로 되어 있어 탁월한 내화학성과 PFA welding 으로 모든 종류의 chemical 및 내화학성이 요구되는 장치에 적합한 소유량 계입니다.
Features - Simple design
- Particle free, none ion contamination
- Superior chemical resistance
- Leak free by PFA welding
- The most suitable for flow measurement and control of all kinds of chemicals
- Installed panel mounting
- Alarm for flow levle sensor
- Cleaned ultrasonic DI water & vacuum package in a clean room
- Assembled in clean room class 100

- Simple한 구조
- 파티클 발생과 이온 오염 없음
- 탁월한 내화학성
- PFA welding 구조로 leak free
- HF등 모든 chemical의 유량 측정 및 제어에 최적
- Panel mounting 설치
- 유량 level 감시용 alarm 출력
- DI water로 초음파 세정 및 clean room에서 진공 포장
- 클린룸에서 조립
Applications - Provided chemical at semiconductor foe wet process
- HF etching, flow measurement of cleaning equipment
- HF's flow measurement
- Unusable glass for chemical flow measurement
- Ultra pure & high purity chemical's flow measurement

- Wet process용 반도체 장비의 chemical 공급 라인
- HF etching, 세정 장비의 유량 측정
- HF의 유량 측정
- Glass를 사용할 수 없는 chemical의 유량 측정
- 초 순수, 고순도 chemical의 유량 측정
Specifications - Fluid : Liquid (viscosity < 5.0cP)
- Range : Basic - Min 50cc/min, Max 2LPM
Min(0.01L) 10ml/min ~ Max 100ml/min
Min(0.1L) 100ml/min ~ Max 1L/min
Min(0.15L) 150ml/min ~ Max 1.5L/min
Min(0.4L) 400ml/min ~ Max 2L/min
- Accuracy : ±3% full scale
- OP. Press : Max 3 bar
- OP. Temp : Max 70℃

- 적용 유체 : 액체 (viscosity 5.0cP)
- 측정 유량 : Basic - Min 50cc/min, Max 2LPM
Min(0.01L) 10ml/min ~ Max 100ml/min
Min(0.1L) 100ml/min ~ Max 1L/min
Min(0.15L) 150ml/min ~ Max 1.5L/min
Min(0.4L) 400ml/min ~ Max 2L/min
- 측정 오차 : ±3% full scale
- 사용 압력 : Max 3 bar
- 사용 온도 : Max 70℃
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