유량계(Flow meter)

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카테고리 Purge Flow meter 퍼지미터 타입
제품이미지
제품명 FW 1710
제품종류 테프론플로미터 (PFA)
사양서 [FW1710.pdf]
제품설명 Wetted parts and connection are constructed of PFA and FW1710 series flow meters are available in integral flow adjustment valve. These super litter unit features allows for precise and easy to control a flow control and special chemical resistance with PTFE packing.

유량계의 접액부 및 connection 이 PFA로 되어 있고, PTFE packing을 사용하여 탁월한 내화학성을 가지고 소유량계로 정밀 유량 제어도 가능한 반도체 유량계 입니다.
Features - Particle free, none ion contamination
- Structure of PFA tube connection
- Flow measurement : Gas, DI water, Chemical
- Compact size
- Confidence test for all of products
- Built-in control valve
- Wide for range available to meet all requirements
- Cleaned ultrasonic DI water & vacuum package in a clean room
- Assembled in clean room class 100

- 파티클 발생과 이온 오염 없음
- PFA tube 연결용 connection 구조
- Gas, DI water, chemical등의 유량 측정
- Compact한 크기
- 전제품의 신뢰성 test 실시
- 유량 조절용 needle valve장착
- 주문자 사양의 유량 측정 범위 제작
- DI water로 초음파 세정 및 clean room에서의 진공 포장
- 클린룸에서 조립
Applications - Minimal chemical of semiconductor spin etching equipment, for DI water measurement and control
- Semiconductor equipment for wet process
- For purity chemical and DI Water
- High purity liquids measurement of small labs
- Fields in microbiology, chemistry and medicine using high purity fluid

- 반도체 spin etching 장비의 소유량 chemical, DI water 측정 및 제어용
- Wet process용 반도체 장비
- 고순도 chemical 및 DI water를 사용하는 계측기 유량 측정
- 소규모 연구소 등의 고순도 유체 유량 측정
- 미생물, 화학, 의학 등 고순도 유체 사용 분야
Specifications - Fluid : Gas, Liquid (viscosity<5.0cP)
- Range :
Water - Min 20 CCM / Max 2 LPM
Gas - Min 500 CCM / Max 50 LPM
- Accuracy : ±3% full scale
- OP. Press : Max 3 bar
- OP. Temp : Max 50 ℃

- 적용 유체 : 기체, 액체 (viscosity 5.0 cP)
- 측정 유량 :
Water - Min 20 CCM / Max 2 LPM
Gas - Min 500 CCM / Max 50 LPM
- 측정 오차 : ±3% full scale
- 사용 압력 : Max 3 bar
- 사용 온도 : Max 50 ℃
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