유량계(Flow meter)

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카테고리 Purge Flow meter 퍼지미터 타입
제품이미지
제품명 FW 1545
제품종류 테프론플로미터 (PFA)
사양서 [FW1545.pdf]
제품설명 All Teflon flowmeter, constructed of PFA wetted parts and PFA taper tube suitable for high corrosive chemical process line.

All PFA 유량계로 PFA 접액부와 PFA taper tube로 되어 있어 탁월한 내화학성으로 모든 종류의 Chemical 적용이 가능하며, 내화학성이 요구되는 장치에 적합한 유량계 입니다.
Features - Particle free, none ion contamination
- The most suitable for flow measurement and control of all king of chemicals
- Prevent corrosion by PFA coating(on request)
- Available up to 10 ~ 100 liter/min
- Installed needle valve for flow adjustment in inlet of outlet
- Installed panel mounting
- Alarm for flow level sensor
- Cleaned ultrasonic DI water & vacuum package in a clean room
- Assembled in clean room class 100

- 파티클 발생과 이온 오염 없음
- 모든 종류의 chemical의 유량 측정 및 제어에 최적
- 외부 구성품은 All Teflon coating으로 부식 방지
- 물 기준 10~100 liter/min까지 유량 측정 가능
- Panel mounting 설치
- 유량 level 감시용 alarm 출력
- DI water로 초음파 세정 및 Clean room에서 진공 포장
- 클린룸에서 조립
Applications - Provided chemical at semiconductor wet process
- Flow measurement of high purify chemical
- Precise control by built-in control valve
- Unusable glass for chemical flow measurement
- Wet process용 반도체 장비의 chemical 공급 라인

- 고순도 chemical의 유량 측정
- 유량 측정 및 자체 needle valve로 유량 정밀 제어
- Glass를 사용할 수 없는 chemical의 유량 측정
- Chemical supply 공급 장비에 사용
Specifications - Fluid : Liquid (viscosity < 5.0cP)
- Range : Water - Min 50 LPM/Max 100 LPM
- Accuracy : ±3% full scale
- OP. Press : Max 3 bar
- OP. Temp : Max 70℃

- 적용 유체 : 액체 (visosity 5.0cP)
- 측정 유량 : Water - Min 50 LPM/Max 100 LPM
- 측정 오차 : ±3% full scale
- 사용 압력 : Max 3 bar
- 사용 온도 : Max 70℃
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