유량계(Flow meter)

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카테고리 Purge Flow meter 퍼지미터 타입
제품이미지
제품명 FW 1540
제품종류 테프론플로미터 (PFA)
사양서 [FW1540.pdf]
제품설명 All Teflon flowmeter, constructed of PFA wetted parts and PFA taper tube suitable for high corrosive chemical process line.

All PFA 유량계로 PFA 접액부와 PFA taper tube로 되어 있어 탁월한 내화학성으로 모든 종류의 Chemical 적용이 가능하며, 내화학성이 요구되는 장치에 적합한 유량계입니다.
Features - Particle free, non metal contamination
- The most suitable for flow measurement and control of all king of chemicals
- Prevent corrosion by PFA coating(on request)
- Available up to 3-50LPM
- Installed needle valve for flow adjustment in inlet of outlet
- Alarm for floe level sensor
- Cleaned ultrasonic DI water & vacuum package in a clean room
- Assembled in clean room class 100

- 파티클 발생과 금속 오염 없음
- 모든 종류의 chemical의 유량 측정 및 제어에 최적
- 외부 구성품은 All PFA coating으로 부식을 방지
- 물 기준 3-50LPM 까지 유량 측정 가능
- Panel mounting 설치
- 유량 level 감시용 alarm 출력
- DI water로 초음파 세정 및 Clean room에서의 진공 포장
- 클린룸에서 조립
Applications - Provided chemical at semiconductor wet process
- Flow measurement of high purify chemical

- Wet process용 반도체 장비의 chemical 공급 라인
- 고순도 chemical의 유량 측정
Specifications - Fluid : Liquid (viscosity<5.0cP)
- Range : Water - Min 3 LPM/Max 50 LPM
- Accuracy : ±3% full scale
- OP. press : 3 bar

- 적용 유체 : 액체 (viscosity 5.0cP)
- 측정 유량 : Water - Min 3 LPM/Max 50 LPM
- 측정 오차 : ±3% full scale
- 사용 압력 : 3 bar
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