유량계(Flow meter)

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카테고리 Purge Flow meter 퍼지미터 타입
제품이미지
제품명 FW 1535
제품종류 Large Flow Meter For Chemical
사양서 [FW1535.pdf]
제품설명 PVC and Teflon constructed flow meter offer solutions for te measurement of highly corrosive chemical of DI water. FW 1535 series flowmeter are available with the capacity up to 100liter/min.

접액부와 외관을 Teflon이나 PVC 등의 내화학성 수지류를 사용하여 각종 chemical 및 DI water사용에 적합한 대유량 유량계 입니다.
Features - Up to 100 liter (full flow)
- Excellent chemical resistance
- Liquid measurement such as DI water, chemical
- Built-in control valve
- Various flow direction inline for panel mounting
- Alarm for flow level sensor
- Wide for range acailcble to meet all requirements
- Cleaned ultrasonic DI water & vacuum package in a clean room
- Assembled in clean room class 100

- 물 기준 100L/min까지의 대용량
- 탁월한 내화학성
- DI Water, Chemical등의 액체 유량 측정
- 유량 조절용 needle valve 장착
- 유량 level 감시용 alarm 출력
- 전후면 panel mounting 가능
- 주문자 사양의 유량 측정 범위 제작
- DI water로 초음파 세정 및 clean room에서 진공 포장
- 클린룸에서 조립
Applications - Large sized DI water or chemical supply line for semiconductor wet process
- Chemical supply system
- Precise control by built-in control valve
- Utility flow measurement of small lab
- Fields in microbiology, chemistry and medicine using high purity fluid

- 반도체 Wet process 장비의 대유량 DI water, chemical 공급 라인
- Chemical supply system의 유량 측정
- 유량 측정 및 자체 needle valve로 유량 정밀 제어
- 소규모 연구소 등의 utility 유량 측정
- 미생물, 화학, 의학 등 고순도 유체 사용 분야
Specifications - Fluid : Liquid (viscosity<5.0cP)
- Range : Water - Min 50LPM/Max 100LPM
- Accuracy : ±3% full scale
- OP. Press : Max 8bar
- OP. Temp : Max 0 ~ 60℃

- 적용 유체 : 액체 (viscosity 5.0cP)
- 측정 유량 : Water - Min 50LPM/Max 100LPM
- 측정 오차 : ±3% full scale
- 사용 압력 : Max 8bar
- 사용 온도 : Max 0 ~ 60℃
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