유량계(Flow meter)

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카테고리 Purge Flow meter 퍼지미터 타입
제품이미지
제품명 FW 1530
제품종류 Teflon Flow Meter For Pure Liquid
사양서 [FW1530.pdf]
제품설명 PVC and Teflon constructed flow meter offer solutions for medium and large flow rate measurement of highly corrosive chemical of DI Water

접액부와 외관을 Teflon이나 PVC등의 내화학성 수지류를 사용하여 각종 chemical 및 DI water의 사용에 적합하도록 설계된 중, 대유량 용 유량계 입니다.
Features - Excellent chemical resistance
- Up to 50liter/min
- Built-in control valve
- Various flow direction inline for panel mounting
- Alarm for flow level sensor
- Wide for range available to meet all requirements
- Cleaned ultrasonic DI water & vacuum package in a clean room
- Assembled in clean room class 100

- 탁월한 내화학성
- 물 기준 50L/min 측정(max)
- 유량 조절용 needle valve 장착
- 다양한 유로 선택은 inline 혹은 panel mounting 설치
- 유량 level 감시용 alarm 출력
- 전후면 panel mounting 기능
- 주문자 사양의 유량 측정 범위 제작
- DI water로 초음파 세정 및 clean room에서 진공 포장
- 클린룸에서 조립
Applications - DI water, gas, chemical supply lines for semiconductor or wet process
- Chemical supply system
- Precise control by built-in control valve
- Utility flow measurement of small lab
- Fields in microbiology, chemistry and medicine using high purity fluid

- 반도체 wet process 장비의 DI water, chemical 공급 라인
- Chemical 공급 라인
- Chemical supply system의 유량 측정
- 유량 측정 및 자체 needle valve로 유량 정밀 제어
- 소규모 연구소 등의 utility 유량 측정
- 미생물, 화학, 의학 등 고순도 유체 사용 분야
Specifications - Fluid : Liquid (viscosity < 5.0cP)
- Range : Water - Min 10LPM/ Max 50LPM
- Accuracy : ±3% full scale
- Max OP. Press : 10 Bar
- Bursting Pressure : 25 Bar
- OP. Temp : Max 0 ~ 60℃

- 적용 유체 : 액체 (viscosity 5.0 cP)
- 측정 유량 : Water - Min 10LPM/ Max 50LPM
- 측정 오차 : ±3% full scale
- 최대 사용 압력 : 10 Bar (1.0Mpa)
- 파열 압력 : 25 Bar
- 사용 온도 : Max 0 ~ 60℃
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