유량계(Flow meter)

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카테고리 Purge Flow meter 퍼지미터 타입
제품이미지
제품명 FW 1510
제품종류 Teflon Flow Meter For Low Flowrate Of Liquid And Gas
사양서 [FW1510.pdf]
제품설명 Wetted parts and body constructed of PFA or PVC and taper tube is borosilicate glass construction. Best middle size flowmeters for DI water, gas and chemical process

접액부와 외관을 PFA 또는 PVC를 사용하였고, taper tube 는 borosilicate계 glass를 사용하여 각종 부식성 gas 및 chemical과 DI water 사용에 적합하도록 설계된 중용량용 유량계 입니다.
Features - Middle flow rate available 3~10 LPM
- Built-in control valve
- Strong chemical resistance
- Alarm for flow level sensor
- Available on panel mounting both front and reverse
- Offer wide range flow available on request
- Cleaned ultrasonic DI water & vacuum package in a clean room
- Assembled in clean room class 100

- 물 기준 3~10 LPM의 중유량 측정 가능
- 유량 조절용 needle valve 장착
- 우수한 내화학성
- 유량 level 감시용 alarm 출력
- 전후면 panel mounting 가능
- 주문자 사양의 유량 측정 범위 제작
- DI water로 초음파 세정 및 clean room에서 진공 포장
- 클린룸에서 조립
Applications - DI water of chemical supply line for semiconductor wet process
- Precise control by built-in control valve
- Various material of wetted parts are for types of gas, liquid

- 반도체 Wet process 장비의 DI water, Chemical 공급 라인
- 유량 측정 및 자체 Needle valve로 유량 정밀 제어
- 유체 접속구는 다양한 재질로 제작이 가능하며 Gas 및 Liquid 구분 없이 사용 가능한 제품
Specifications - Fluid : Gas, Liquid (viscosity<5.0cP)
- Range :
Water - Min 3LPM/Max 10LPM
Gas - Min 50LPM/Max 200LPM
- Accuracy : ±3% full scale
- Max OP. Press : 10 Bar
- Bursting Pressure : 25 Bar
- Op. Temp : 0 ~ 50(90)℃

- 적용 유체 : 기체, 액체 (viscosity 5.0cP)
- 측정 유량 :
Water - Min 3LPM/Max 10LPM
Gas - Min 50LPM/Max 200LPM
- 측정 오차 : ±3% full scale
- 최대 사용 압력 : 10 Bar (1.0Mpa)
- 파열 압력 : 25 Bar
- 사용 온도 : 0 ~ 50(90)℃
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