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e-mail. sales@flucon.co.kr Fax. 031-332-3057 운영시간 : 09시 - 17시| 카테고리 | Purge Flow meter 퍼지미터 타입 |
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| 제품이미지 | |
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| 제품명 | FW 1200 |
| 제품종류 | Stainless Steel for Low Flowrate Flow Meter |
| 사양서 | [FW1200.pdf] |
| 제품설명 | FW-1200 uses SUS316 for wetted parts which are suitable to measure some chemical and ultra pure water. Compact size allows to measure up to 5L/min(water basis). Various connections, PT, VCR and Lok fitting are for Semiconductor equipment with water and Gas. Both Solvent, DI Water and Gas. Both Photo and Magnet Sensor alarm are available. FW 1200은 접액부를 SUS316을 사용하여 일부 화학물 및 초순수의 계측에 적합하며 compact한 치수로 물 기준 5L/min까지 계측 가능합니다. Connection은 PT, VCR, Lok Fitting 등 다양한 종류로 반도체 장비의 Solvent, DI water, Gas 등에 적용 가능합니다. Alarm으로 photo, Magnet sensor 모두 가능합니다. |
| Features | - DI water, gas and chemical lines for semiconduct - Suitable for DI Water, Gas and Chemical - Measurements up to 5L/min (water basis) - 100% flow rate calibration (one by one) - Needle Valve for controlling flow rate - Alarm output for monitoring flow level - Custom-made connection - Custom-made flow range - Ultrasonic cleaning with DI water and vacuum package - Assembles in clean room class 100 - DI Water, gas, chemical 대응 - 물 기준 5L/min 측정 가능 - 100% 1대1 유량 calibration - 유량 조절용 needle valve 장착 - 유량 level 감시용 alarm 출력 가능 - 주문자 사양의 connection 적용 - 주문자 사양의 유량 측정 범위 제작 - DI Water로 초음파 세정 및 진공 포장 - 클린룸에서 조립 |
| Applications | - DI water, gas and chemical lines for semiconduct - Needle valve for micro controlling - Flow measurement at utility including small lab - Flow measurement and control characteristics for sampling line of equipments - Field in microbiology, chemistry and medicine using high purity fluid - 반도체 장비의 DI Water, Gas, Chemical 공급 라인 - 자체 needle valve로 유량 정밀 제어 - 소규모 연구소 등의 utility 유량 측정 - 각종 계측 장비의 sampling line의 유량 측정 및 제어 - 미생물, 화학, 의약 등 고순도 유체 사용 분야 |
| Specifications | - Fluid : Gas, Liquid (viscosity<5.0cP) - Range : Water - Min 500CCM/Max 5LPM (min 0.5L ~ 2.5L max) Gas - Min 20LPM/ Max 100LPM - Accuracy : ±3% full scale - Max OP. Press : 10 Bar - Bursting Pressure : 58 Bar - OP. Temp : 0~90℃ - 적용 유체 : 기체, 액체 (viscosity 5.0cP) - 측정 유량 : Water - Min 500CCM/Max 5LPM (min 0.5L ~ 2.5L max 가능) Gas - Min 20LPM/ Max 100LPM - 측정 오차 : ±3% full scale - 최대 사용 압력 : 10 Bar (1.0Mpa) - 파열 압력 : 58 Bar - 사용 온도 : 0~90℃ |
