유량계(Flow meter)

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카테고리 Purge Flow meter 퍼지미터 타입
제품이미지
제품명 FW 1130
제품종류 Stainless Steel Standard Flow Meter
사양서 [Purgemeter_FW1130.pdf]
제품설명 FW 1100 series are standard type of flow meters for small flow measurements. Wetted parts are constructed of 316 stainless body is aluminum anodized. It is suitable for DI water or corrosive gas and chemical.

FW 1100 시리즈는 소량 유량 측정을 위한 표준 유량계입니다.
접액부는 SUS316을 외관은 Aluminum anodizing 처리를 한 미려한 Body의 소유량용으로 각종 부식성 Gas 및 Chemical과 DI water의 사용에 적합하며 3가지 모델이 있습니다.
Features - 3 different modles: 1110, 1120, 1130
- Suitable for DI water, Gas, Chemical
- Small flow measurements available (20cc/min)
- Direct reading scale for flow rate
- Built-in control valve
- Alarm for flow level sensor
- Wide flow ranges available to meet all requirements
- Cleaned ultrasonic DI water & vacuum package in a clean room
- Assembled in clean room class 100

- 1110, 1120, 1130의 3가지 모델
- DI water, Gas, Chemical 대응
- 물 기준 20cc/min 의 미소 유량 측정 가능
- 100% 1대1 유량 calibration
- 유량 조절용 needle valve 장착
- 유량 level 감시용 alarm 출력 가능
- 주문자 사양의 connection 적용
- 주문자 사양의 유량 측정 범위 제작
- DI water로 초음파 세정 및 진공 포장
- 클린룸에서의 조립
Applications - DI water, gas and chemical lines for semiconduct or equipment
- Built-in control valve
- Utility flow measurement of small lab
- Flow measurement and control characteristics for sampling line of equipments
- Field in microbiology, chemistry and medicime using high purity fluid

- 반도체 장비의 DI water, Gas, Chemical 공급 라인
- 자체 neelde valve로 유량 정밀 제어
- 소규모 연구소 등의 utility 유량 측정
- 각종 계측 장비의 sampling line의 유량 측정 및 제어
- 미생물, 화학, 의약 등 고순도 유체 사용 분야
Specifications - Fluid : Gas, Liquid (viscosity<5.0cP)
- Range :
Water - Min 20CCM/Max 2LPM
Gas - Min 0.5LPM/Max 100LPM
- Accuracy : ± 3% full scale
- Max OP. Press : 10 Bar
- Burstin Pressure : 58 Bar
- OP. Temp : 0 ~ 90℃

- 적용 유체 : 기체, 액체 (viscosity 5.0cP)
- 측정 유량 :
Water - Min 20CCM/Max 2LPM
Gas - Min 0.5LPM/Max 100LPM
- 측정 오차 : ± 3% full scale
- 최대 사용 압력 : 10 Bar (1.0Mpa)
- 파열 압력 : 58 Bar
- 사용 온도 : 0 ~ 90℃
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