유량계(Flow meter)

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카테고리 Digital Gas Flow meter 디지털가스 유량계 (Thermal방식)
제품이미지
제품명 FW 6600
제품종류 유량 조절 디지털 가스 유량계
사양서 [FW6600.pdf]
제품설명 MEMS 센서를 이용한 유량 측정 방식
Features - Air, N2, O2, Ar, CO2등의 가스에 적합
- 밸브 내장 타입
- 유량 조절용 needle valve 장착
- 유량 level 감시용 alarm 출력 가능
- 주문자 사양의 유량 측정 범위 제작
- 전원: 3.6 ~ 24(50mA) Vdc
Applications - 반도체 장비 및 연구 장비의 가스 라인
- 자체 needle valve로 유량 정밀 제어
- 소규모 연구소 등의 utillity 유량 측정
- 각종 계측 장비의 sampling line의 유량 측정 및 제어
- 미생물, 화학, 의약 등 고순도 유체 사용 분야
Specifications - 적용 가스: Air, N2, O2, Ar, CO2
- 전체 유량 범위:
Air, N2, O2, Ar: 1,2,5,10,20,50,70,SLPM
CO2: 1,2,5,10,20,40,SLPM
- 정확도: ±2.0%F.S
- 반복성: 0.5%F.S
- 작동 온도: -10 ~ +55℃
- 최대 압력: 1.0MPa
- 전원 공급: 3.6 ~ 24(50mA) Vdc, Lithuim-ion battery ER14250
- 디지털 출력: RS485 Modbus half-duplex
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