케미칼 및 DI발브(Chemical Valves)

제품이미지
제품명 중형 CHEMICAL VALVE
제품종류 Chemical valve
사양서 [FVA5060.pdf]
제품설명 Air operated valve FVA-2 / Manual valve FVM-2
15A~50A size의 중,대형 diaphragm valve입니다. 접액부는 PTFE, PVC 재질을 사용하여 우수한 내화학성을 지니고 있으며, LCD 장비 등의 대유량 valve에 적합합니다. 15A~50A 치수의 다양한 connection과 유량조절 by-pass 기능이 추가된 valve도 준비되어 있습니다.
Features - PTFE, PVC 접액부 선택
- Flare, PT female and Union connection
- Air 구동의 NC, NO, Double Acting
- 동작 확인용 indicator, 유량 조절 기능 부착
- Particle free, none ion contamination
- Degreasing, DI water로 초음파 세정 및 진공포장
Applications - Chemical 공급 시스템
- Wet station
- Spin etching, cleaning, system
- LCD cleaning system
- LCD etching system
Specifications - 사용온도 : 5~50℃(60℃)
- 사용압력(정) : 0~4kg/㎠
- 사용압력(역) : 0~2kg/㎠
- 작동압력 : 4~6kg/㎠
- 작동회수 : 10회/min