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제품명 | FW-1520 |
제품종류 | Purgemeter |
사양서 | [FW1520.pdf] |
제품설명 | Stainless 재질의 중용량 유량계 접액부와 외관을 SUS316으로 사용하고, 유량 계측용 taper tube는 borosilicate계 glass를 사용하며 각종 부식성 gas 및 chemical과 DI water사용에 적합하도록 설계된 중용량용 유량계입니다. |
Features | - buffing 처리한 stainless body와 미려한 AI frame - 물 기준 20liter/min의 중용량 측정 가능 - 유량 조절용 needle valve 장착 - borosilicate glass의 우수한 내화학성 및 내충격성 - 유량 level 감시용 alarm 출력 - 전후면 panel mounting 가능 - 주문자 사양의 유량측정 범위 제작 - DI water로 초음파 세정 및 clean room 에서의 진공포장 |
Applications | - 반도체 장비의 DI water, gas, chemical 공급라인 - 유량측정 및 자체 needle valve로 유량 정밀제어 - 소규모 연구소 등의 utility 유량측정 - Gas purifier 및 gas scrubber 등 고순도, 부식성 유체사용 장치 - 미생물, 화학, 의약 등 고순도 유체사용분야 |
Specifications | - 적용유체 : 기체, 액체 (viscosity < 5.0cP) - 측정유량 : Water - Min 5LPM / Min 20LPM Gas - Min 50LPM / Min 600LPM - 측정오차 : ±3% Full Scale - 사용압력 : max 8kg/㎠ - 사용온도 : 0~90℃ |