유량계(Flowmeters)

제품이미지
제품명 FW-1530
제품종류 Purgemeter
사양서 [FW1530_20180801.pdf]
제품설명 Teflon 재질의 초순수용 중,대용량 유량계
접액부와 외관을 Teflon이나 PVC 등의 내화학성 수지류를 사용하여 각종 chemical 및 DI water의 사용에 적합하도록 설계된 중, 대용량용 유량계입니다.
Features - 탁월한 내화학성
- 물 기준 50liter/min 측정(max)
- 유량 조절용 needle valve장착
- 다양한 유로 선택으로 lnline 혹은 Panel mounting 설치
- 유량 Level 감시용 Alarm 출력
- 전후면 Panel mounting 가능
- 주문자 사양의 유량측정 범위 제작
- DI water로 초음파 세정 및 clean room에서의 진공포장
Applications - 반도체 wet process 장비의 DI water, chemical 공급라인
- Chemical supply system의 유량측정
- 유량측정 및 자체 needle valve로 유량 정밀제어
- 소규모 연구소 등의 utility 유량측정
- 미생물, 화학, 의약 등 고순도 유체사용분야
Specifications - 적용유체 : 액체 (viscosity < 5.0cP)
- 측정유량 : Water - Min 10LPM / Max 50LPM
- 측정오차 : ±5% Full Scale
- 사용압력 : 5kg/㎠ max
- 사용온도 : 60℃ (max)