유량계(Flowmeters)

제품이미지
제품명 FW-1540
제품종류 Purgemeter
사양서 [FW1540_20180801.pdf]
제품설명 All PFA 재질의 chemical용 대유량계
All Teflon 유량계로 PFA 접액부와 PFA taper tube로 되어있어 탁월한 내화학성으로 모든 종류의 chemical 적용이 가능하며, 내화학성이 요구되는 장치에 적합한 유량계 입니다.
Features - Particle free, none ion contamination
- 모든 종류의 chemical의 유량측정 및 제어에 최적
- 외부 구성품은 All Teflon coating로 부식 방지
- 물 기준 10~100liter/min까지의 유량 측정 가능
- lnlet 혹은 Outlet에 유량조절용 needle valve 장착
- Panel mounting 설치
- 유량 level 감시용 alarm 출력
- DI water로 초음파 세정 및 clean room에서의 진공포장
Applications - Wet process용 반도체 장비의 chemical 공급라인
- 고순도 chemical의 유량측정
- 유량측정 및 자체 needle valve로 유량 정밀제어
- Glass를 사용할 수 없는 chemical 유량측정
Specifications - 적용유체 : 액체 (viscosity < 5.0cP)
- 측정유량 :
FW1540 / Water - Min 10LPM / Max 50LPM
- 측정오차 : ±5% Full Scale
- 사용압력 : 3kg/㎠ max
- 사용온도 : 70℃ max