유량계(Flowmeters)

제품이미지
제품명 FW-1710
제품종류 Purgemeter
사양서 [FW1710_20180801.pdf]
제품설명 초순수, 고순도 유체용 유량계
유량계의 접액부 및 connection이 PFA로 되어 있고 , PTFE packing을 사용하며 탁월한 내화학성을 가진 소유량계로 정밀 유량 제어도 가능한 반도체 장비용 유량계입니다.
Features - Particle free, none ion contamination
- PFA tube 연결용 connection 구조
- Gas, DI water, chemical 등의 유량측정
- Compact한 크기
- 전제품의 신뢰성 test 실시
- 유량 조절용 needle valve 장착
- 주문자 사양의 유량측정 범위 제작
- DI water로 초음파 세정 및 clean room에서의 진공포장
Applications - 반도체 spin etching 장비의 소유량 chemical, DI water 측정 및 제어용
- Wet process용 반도체 장비
- 고순도 chemical 및 DI water를 사용하는 계측기 유량측정
- 소규모 연구소 등의 고순도 유체 유량측정
- 미생물, 화학, 의약 등 고순도 유체사용분야
Specifications - 적용유체 : 기체, 액체 (viscosity < 5.0cP)
- 측정유량 :
Water - Min 20CCM / Max 2LPM
Gas- Min 500CCM / Max 50LPM
- 측정오차 : ±5% Full Scale
- 사용압력 : 5kg/㎠ max
- 사용온도 : 50℃ (max)