케미칼 및 DI발브(Chemical Valves)

제품이미지
제품명 MANIFOLD VALVE
제품종류 Chemical valve
사양서 [MANIFOLDVALVE.pdf]
제품설명 Manifold Valve
1개의 inlet과 여러 개의 outlet port, 혹은 여러 개의 in, out 등 다양한 flow port를 배열할 수 있어 공간활용을 최적화할 수 있습니다.
Features - PFA, PTFE, PVC 접액부 선택
- 2~5 layer 배열
- Air 구동의 NO, NC, Double Acting
- 1 inlet multi-outlet, multi-inlet, multi-outlet 등 다양한 선택
- 100만 cycle test를 거친 PTFE diaphragm
- Particle free, none ion contamination
- Degreasing, DI water로 초음파 세정 및 진공포장
Applications - Chemical 공급 장치
- Coater, developer
- Wet station
- Spin etching, cleaning system
- Microbe, biochemistry fields
Specifications - 사용온도 : 5~50℃(60℃)
- 사용압력(정) : 0~4kg/㎠
- 사용압력(부) : 0~2kg/㎠
- 작동압력 : 2~4kg/㎠
- 작동횟수 : 30회/min