케미칼 및 DI발브(Chemical Valves)

제품이미지
제품명 SUCKBACK VALVE
제품종류 Chemical valve
사양서 [SUCKBACKVALVE.pdf]
제품설명 Suck Back Valve
Nozzle 장치에서 유체를 정지시킬 때 잔여 유체 방울이 떨어지는 것을 방지하기 위하여 nozzle tube 내의 유체를 빨아당겨주는 valve로써 air operated valve와 suck valve의 일체형 valve입니다.
Features - 우수한 배관 suck back 구조
- 순수 및 약액 대응
- 우수한 내부식성
- Simple한 구조
- Particle free
- Degreasing, DI water로 초음파 세정 및 진공포장
Applications - Spin etcher
- Spin coater, developer
- Chemical
- Nozzle process
Specifications - 사용온도 : 10~50℃(60℃)
- 유체압력범위 : 0~2kg/㎠