케미칼 및 DI발브(Chemical Valves)

제품이미지
제품명 Block Valve for CMP
제품종류 Chemical valve
사양서 [FVAR.pdf]
제품설명 Block Valve for CMP Process
CMP Process for high back pressure
Features - PTFE, PVC, Stainless Steel 접액부 선택
- ~4kg/㎠ 의 높은 배압에 견디는 다이아프람 구조
- Foot print 를 최소화 할 수가 있어 장비 공간활용에 유리함
- 다양한 커넥션 및 유로 형성 가능
- “H” 형 유로 및 제어밸브를 일체형으로 설치
- Air 구동의 NO, NC, Double Acting 및 Manual valve 조합 가능
- 100만 cycle test를 거친 PTFE diaphragm
- Particle free, none ion contamination
Applications - Chemical supply system
- CMP process
- Wet etching processstation
- Chemical mixing and distribution
- 2가지 이상의 유체를 분배 혹은 혼합하여 사용하는 공정
- 배압이 4kg/cm2 정도 걸리는 chemical, DIW spary 공정
Specifications - 치수 : 1/8”~1/2”
- 사용온도 : 5~50℃(60℃)
- 사용압력(정) : 0~5kg/㎠
- 사용압력(역) : 0~4kg/㎠
- 작동압력 : 2~4kg/㎠
- 작동회수: 30회/min