디지탈 가스 유량계(Digital Gas Flowmeters)

제품이미지
제품명 FW-4600
제품종류 반도체 장비용 Digital 가스유량계
사양서 [FW4600-사양서V1.1.pdf]
제품설명 액MEMS 방식의 미소 유량조절 가스유량계
접액부는 SUS316을 외관은 aluminum anodizing 처리를 한 미려한 body의 소유량용으로 미소유량의 Air, N2, O2, Ar , He, Co2 등의 가스에 적합하다.
Features - 100% 1대 1 유량 calibration
- 유량 조절용 needle valve 장착
- 유량 level 감시용 alarm 출력 가능
- 주문자 사양의 유량측정 범위 제작
Applications - 반도체장비및연구장비의 gas라인
- 자체 needle valve로 유량 정밀제어
- 소규모 연구소등의 utility 유량측정
- 각종 계측장비의 sampling line의 유량측정 및 제어
- 미생물, 화학, 의약 등 고순도 유체 사용분야
Specifications - 적용유체 : 기체 (N2,Air,O2,Ar,He 등등)
- 측정유량 : Gas 0 -100 SCCM
0 -200 SCCM
0 -500 SCCM
0 -1 LPM
0 -2 LPM
0 -5 LPM
- 측정오차 : ±3% full scale
- 사용압력범위 : 8kg/㎠ max
- 사용온도범위 : 0~90℃