유량계(Flowmeters)

제품이미지
제품명 FW-1510
제품종류 Purgemeter
사양서 [FW1510_20180801.pdf]
제품설명 Teflon 재질의 중용량 유량계
접액부와 외관을 Teflon 또는 PVC를 사용하였고, taper tube borosilicate계 glass를 사용하며 각종 부식성 gas 및 chemical과 DI water의 사용에 적합하도록 설계된 중용량용 유량계 입니다.
Features - 물 기준 5liter/min의 중용량 측정 가능
- 유량 조절용 needle valve 장착
- 우수한 내화학성
- 유량 level 감시용 alarm 출력
- 전후면 panel mounting 가능
- 주문자 사양의 유량측정 범위 제작
- DI water로 초음파 세정 및 clean room에서의 진공포장
Applications - 반도체 wet process의 DI water, chemical 공급라인
- 반도체 장비의 gas공급 line
- 유체 접속구는 다양한 재질로 가능하며 gas 및 chemical 구분 없이 사용 가능한 model
- 중, 소유량으로 1530및 2510 model 혼용 model
Specifications - 적용유체 : 기체, 액체 (viscosity < 5.0cP)
- 측정유량 :
Water - Min 3LPM / Max 5LPM
Gas - Min 50LPM / Max 200LPM
- 측정오차 : ±5% Full Scale
- 사용압력 : 5kg/㎠ max
- 사용온도 : 0~50(90)℃