유량계(Flowmeters)

제품이미지
제품명 FW-1720
제품종류 Purgemeter
사양서 [FW1720_20180801.pdf]
제품설명 All PFA 재질의 chemical 소유량계
All PFA 유량계로 접액부와 Taper Tube가 PFA로 되어 있어 탁월한 내화학성과 PFA Welding으로 모든 종류의 Chemical 및 내화학성이 요구되는 장치에 적합한 소유량계입니다.
Features - Simple한 구조
- Particle free, none ion contamination
- 탁월한 내화학성
- PFA welding 구조로 leak free
- HF 등 모든 chemical 의 유량측정 및 제어에 최적
- Panel mounting 설치
- 유량 level 감시용 alarm 출력
- DI water로 초음파 세정 및 clean room에서의 진공포장
Applications - Wet process용 반도체 장비의 chemical 공급라인
- HF etching, 세정 장비의 유량측정
- HF의 유량측정
- Glass를 사용할 수 없는 chemical의 유량측정
- 초순수, 고순도 chemical의 유량측정
Specifications - 적용유체 : 기체, 액체 (viscosity < 5.0cP)
- 측정유량 :
Water - Min 20CCM / Max 2LPM
Gas - Min 500CCM / Max 50LPM
- 측정오차 : ±5% Full Scale
- 사용압력 : 3kg/㎠ max
- 사용온도 : 70℃ (max)